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冷凝泵急速再生步驟
冷凝泵的再生是使泵內(nèi)儲存的氣體解析和脫附的過程，為了更好控制冷凝泵工作效能，其急速再生的方法需要用戶掌握。
1.關(guān)閉高閥, 將加熱N2或室溫N2氣由Purge Gas口導(dǎo)入泵腔, 被稀釋的毒性氣體就會通過排氣閥放出。這時, 冷板的溫度若達(dá)不到77K以上, 泵室的壓力就上不去, 氣體也就無法釋放出來, 而又會被凝縮在冷頭上。用N2進(jìn)行沖洗時, 最好采用專用的放氣管道來排出N2氣。不得已要從安全閥釋放時, 由于易產(chǎn)生真空泄露, 所以, 有必要對安全閥進(jìn)行清洗。
2.用加熱毯進(jìn)行加熱。但要注意加熱時, 溫度不能超過70℃。否則, 會損壞冷凝泵。
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