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冷凝泵真空不良故障5點(diǎn)原因
1.冷凝泵的真空安全閥泄露。
2.冷板安裝不正確、劣化、快速再生不良。
3.前級泵抽氣時(shí)間過(guò)長(cháng), 使油返回到真空室后又被吸附到冷板上。
4.制冷溫度達不到20K以下: 冷凍機制冷能力劣化；壓縮機壓縮能力降低(很少發(fā)生)；He氣壓力過(guò)低；He氣充填壓力過(guò)高。
5.若仍然不行,則可能是冷凍機的相位角有偏差。這時(shí),需按照以下步驟重新進(jìn)行調整: 首先, 使活塞連桿處于頂部死區的位置(偏心輪最高點(diǎn))； 然后, 把偏心輪逆時(shí)針?lè )较蛐D30°(偏心輪最高點(diǎn)的位置) ,使低壓閥閉合,高壓閥處于閉合/開(kāi)啟臨界狀態(tài)。此時(shí), 臂式閥桿處于懸空狀態(tài), 即, 沒(méi)有接觸閥芯。用手伸進(jìn)視鏡窗孔中轉動(dòng)二個(gè)大軸承, 應感到很輕；若仍然感到很重, 則可擰掉二側的堵頭, 通過(guò)調整臂式閥桿的調整螺釘來(lái)加以修正。使低壓閥閉合, 高壓閥處于閉合?開(kāi)啟臨界狀態(tài)(靠近高壓管的一側為高壓閥。即, 第二個(gè)臂桿)。
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