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冷凝泵急速再生步驟
冷凝泵的再生是使泵內儲存的氣體解析和脫附的過(guò)程，為了更好控制冷凝泵工作效能，其急速再生的方法需要用戶(hù)掌握。
1.關(guān)閉高閥, 將加熱N2或室溫N2氣由Purge Gas口導入泵腔, 被稀釋的毒性氣體就會(huì )通過(guò)排氣閥放出。這時(shí), 冷板的溫度若達不到77K以上, 泵室的壓力就上不去, 氣體也就無(wú)法釋放出來(lái), 而又會(huì )被凝縮在冷頭上。用N2進(jìn)行沖洗時(shí), 最好采用專(zhuān)用的放氣管道來(lái)排出N2氣。不得已要從安全閥釋放時(shí), 由于易產(chǎn)生真空泄露, 所以, 有必要對安全閥進(jìn)行清洗。
2.用加熱毯進(jìn)行加熱。但要注意加熱時(shí), 溫度不能超過(guò)70℃。否則, 會(huì )損壞冷凝泵。
標簽: 冷凝泵 連成水泵
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